多晶硅生产，硅粉加料时为什么要除尘？

白小楼 · 发表于 2015-11-12 16:00:03

我看到料仓会连着一个过滤器，作用是什么啊？

bigfish · 发表于 2015-11-12 16:00:03

半导体纯度要求很高，其性能调控主要是通过微量摻杂。灰尘不管对晶体生长还是摻杂都很致命

yqzls · 发表于 2015-11-12 16:00:03

{:1106_366:}^^^^^^^^^^^^^

xz1013 · 发表于 2015-11-12 16:00:03

放空气体中的粉尘

白小楼 · 发表于 2015-11-12 16:00:03

bigfish 发表于 2015-11-13 20:04
半导体纯度要求很高，其性能调控主要是通过微量摻杂。灰尘不管对晶体生长还是摻杂都很致命

也就是说目的是除去空气中的粉尘，不是细小的硅粉颗粒是吧

bigfish · 发表于 2015-11-12 16:00:03

白小楼发表于 2015-11-17 14:36
也就是说目的是除去空气中的粉尘，不是细小的硅粉颗粒是吧

大部分还是细小的硅粉颗粒。除尘器产生的废粉还可以回收，通过酸洗提纯，作为三氯氢硅生产的原料

shunhuachangli · 发表于 2015-11-12 16:00:03

{:1106_362:}

白小楼 · 发表于 2015-11-12 16:00:03

bigfish 发表于 2015-11-17 22:27
大部分还是细小的硅粉颗粒。除尘器产生的废粉还可以回收，通过酸洗提纯，作为三氯氢硅生产的原料

非常感谢！

白小楼于 2015-11-18 16:32:28 补充以下内容:
谢谢！！

白小楼于 2015-11-18 16:32:32 补充以下内容:
谢谢！！

白小楼于 2015-11-18 16:32:35 补充以下内容:
谢谢！！

白小楼于 2015-11-18 16:32:50 补充以下内容:
多谢啦！！

多晶硅生产，硅粉加料时为什么要除尘？

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