激光共聚焦显微镜用于测量复杂零件表面形貌及粗糙度
激光共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统。它可以获得高达亚纳米级的空间分辨率(高度分辨率0.5nm;宽度分辨率1nm。),实现非接触式、高分辨率的材料表面检测,避免了传统方法中可能引起表面损伤和污染的问题;具有的三维显像功能,可以获得材料表面的三维形貌信息,能够精确地分析和量化表面的各项参数,为材料表面的粗糙度评价提供了更全面、细致的数据支持。{:1110_550:} {:1110_551:} 感谢分享资料
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